韓国企業、超高純度フッ化水素の量産開始。日本輸出規制から1年でついに

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ＳＫグループによると、ＳＫマテリアルズは最近、純度９９．９９９％の超高純度フッ化水素ガスの量産を始めた。

超高純度フッ化水素ガスは半導体の製造に使われる洗浄ガスで、半導体工程微細化で需要が急増しているが、日本などの海外依存度が１００％に達していた。日本が昨年７月、フッ化水素をはじめフォトレジストやフッ化ポリイミドなど３品目に対して韓国で輸出する際に一つひとつ個別許可を受けさせる輸出規制措置を断行して需給が難しくなった。

ＳＫマテリアルズは昨年末、超高純度フッ化水素ガスの試作品開発に成功し、慶尚北道（キョンサンブクド）の栄州（ヨンジュ）工場に１５トン規模の生産施設を作るなど国産化作業を進めてきた。２０２３年まで国産化率を７０％まで引き上げることが目標だ。

ＳＫグループは素材の国産化過程…
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https://japanese.joins.com/JArticle/267150