韓国企業、超高純度フッ化水素の量産開始。日本輸出規制から1年でついに



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SKグループによると、SKマテリアルズは最近、純度99.999%の超高純度フッ化水素ガスの量産を始めた。

超高純度フッ化水素ガスは半導体の製造に使われる洗浄ガスで、半導体工程微細化で需要が急増しているが、日本などの海外依存度が100%に達していた。日本が昨年7月、フッ化水素をはじめフォトレジストやフッ化ポリイミドなど3品目に対して韓国で輸出する際に一つひとつ個別許可を受けさせる輸出規制措置を断行して需給が難しくなった。




SKマテリアルズは昨年末、超高純度フッ化水素ガスの試作品開発に成功し、慶尚北道(キョンサンブクド)の栄州(ヨンジュ)工場に15トン規模の生産施設を作るなど国産化作業を進めてきた。2023年まで国産化率を70%まで引き上げることが目標だ。

SKグループは素材の国産化過程…
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https://japanese.joins.com/JArticle/267150

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Source: IT速報






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